島津能量色散X射線(xiàn)分析是x射線(xiàn)能譜分析的一種儀器。在電子與物質(zhì)相互作用時(shí)，采用能聚焦的入射電子可以激發(fā)初級(jí)x射線(xiàn)，不同元素發(fā)射出來(lái)的特征x射線(xiàn)波長(zhǎng)不同，能量也不同。利用x射線(xiàn)能量不同而展譜一般稱(chēng)為x射線(xiàn)能譜分析或能量色散x射線(xiàn)分析，所用設(shè)備通常稱(chēng)為能量色散譜儀。能量分辨率是島津能量色散X射線(xiàn)分析的主要指標(biāo)，分辨率數(shù)值越小，分辨率越高，儀器性能越好。

 

　　主要單元是半導(dǎo)體探測(cè)器及多道脈沖高度分析器，用以將特征x射線(xiàn)按能量展i}}Er7，5的分辨率遠(yuǎn)不如波長(zhǎng)色散譜儀，它有分析速度快的優(yōu)點(diǎn)，和通用的x射線(xiàn)波長(zhǎng)色散譜儀相比可提高10倍，如果進(jìn)行物相鑒定，只需幾分鐘就可以得到被測(cè)物質(zhì)的全部衍射花樣。

 

　　能量色散型儀器最大的優(yōu)勢(shì)在于：可以對(duì)樣品不作特別復(fù)雜的處理而直接進(jìn)行測(cè)量，對(duì)樣品也沒(méi)有任何損壞，適合直接用于生產(chǎn)的過(guò)程控制中；具有快速、直接測(cè)量各種形狀樣品的優(yōu)點(diǎn)，因此可直接在生產(chǎn)線(xiàn)上用于各種部件、電子元器件的檢測(cè)。

 

　　而波長(zhǎng)色散X熒光分析儀需要對(duì)被測(cè)儀量樣品進(jìn)行簡(jiǎn)單的處理；對(duì)固體樣品的一般處理方法是將被測(cè)量樣品表面打磨光滑，對(duì)粉末和其他樣品可以采用磨細(xì)后進(jìn)行粉末壓片法處理，相應(yīng)的設(shè)備市場(chǎng)上很容易找到。

 

　　但需要強(qiáng)調(diào)指出的是：從熒光理論上，被測(cè)量樣品的預(yù)先處理是必須的，對(duì)于能量色散儀器來(lái)說(shuō)，我們可以采取一些技術(shù)手段進(jìn)行校正來(lái)滿(mǎn)足實(shí)際生產(chǎn)控制的需要，但即使采用了技術(shù)校正的手段，對(duì)不規(guī)則樣品的直接測(cè)量也是以犧牲測(cè)量準(zhǔn)確度作為代價(jià)的。