島津能量色散X射線分析采用脈沖高度分析器將不同能量的脈沖分開并測(cè)量。能量色散X射線熒光光譜儀可分為具有高分辨率的光譜儀，分辨率較低的便攜式光譜儀，和介于兩者之間的臺(tái)式光譜儀。

 

　　島津能量色散X射線分析是x射線能譜分析的一種儀器。在電子與物質(zhì)相互作用時(shí)，采用能聚焦的入射電子可以激發(fā)初級(jí)x射線，不同元素發(fā)射出來的特征x射線波長(zhǎng)不同，能量也不同。利用x射線能量不同而展譜一般稱為x射線能譜分析或能量色散x射線分析，所用設(shè)備通常稱為能量色散譜儀。

 

　　主要單元是半導(dǎo)體探測(cè)器及多道脈沖高度分析器，用以將特征x射線按能量展i｝｝Er7，5的分辨率遠(yuǎn)不如波長(zhǎng)色散譜儀，它有分析速度快的優(yōu)點(diǎn)，和通用的x射線波長(zhǎng)色散譜儀相比可提高10倍，如果進(jìn)行物相鑒定，只需幾分鐘就可以得到被測(cè)物質(zhì)的全部衍射花樣。

 

　　X射線熒光光譜儀具有重現(xiàn)性好，測(cè)量速度快，靈敏度高的特點(diǎn)。能分析B（5）～U（92）之間所有元素。X射線熒光光譜是一種常用的光譜技術(shù)，既可用于材料的組成成分分析，又可用于涂層和多層薄膜厚度的測(cè)量等。無標(biāo)半定量方法可以對(duì)各種形狀樣品定性分析，并能給出半定量結(jié)果，結(jié)果準(zhǔn)確度對(duì)某些樣品可以接近定量水平，分析時(shí)間短。

 

　　而非色散譜儀不是采用將不同能量的譜線分辨開來，而是通過選擇激發(fā)、選擇濾波和選擇探測(cè)等方法使測(cè)量分析線而排除其他能量譜線的干擾，因此一般只適用于測(cè)量一些簡(jiǎn)單和組成基本固定的樣品。